Spërkatja reaktive me magnetron është një teknikë e maturuar për të depozituar një shtresë të hollë komplekse në një gamë të gjerë nënshtresash si një shtresë e sipërme ose si një shtresë e ndërmjetme në një shtresë shumështresore. Shtrirja e "hollës" varion nga disa nanometra deri në disa mikrometra.
Pse një magnetron spërkat?
Spërkatja e magnetonit është procesi i përplasjes ndërmjet grimcave të incidentit dhe objektivave … Shpërthimi i magnetronit rrit densitetin e plazmës duke futur një fushë magnetike në sipërfaqen e katodës së synuar dhe duke përdorur kufizimet e fusha magnetike në grimcat e ngarkuara për të rritur shpejtësinë e spërkatjes.
Çfarë nënkuptohet me spërkatje reaktive?
Spërkatja reaktive është një proces që lejon që komponimet të depozitohen duke futur një gaz reaktiv (zakonisht oksigjen ose azot) në plazmë i cili zakonisht formohet nga një gaz inert si p.sh. argon (më i zakonshmi), ksenon ose kripton.
Si funksionon spërkatja magnetron?
Spërkatja me magnetron është një teknologji depozitimi që përfshin një plazmë të gaztë e cila krijohet dhe kufizohet në një hapësirë që përmban materialin që do të depozitohet - 'objektivin'. … Këto përplasje shkaktojnë një zmbrapsje elektrostatike i cili 'rrëmben' elektronet nga atomet e gazit që spërkasin, duke shkaktuar jonizimin.
Pse spërkat RF?
RF ose spërkatja me frekuencë radio është teknika e përfshirë në alternimin e potencialit elektrik të rrymës në mjedisin e vakumit në frekuencat radio për të shmangur ngritjen e ngarkesës në disa lloje të materialeve të synuara spërkatëse, e cila me kalimin e kohës mund të rezultojë në hark në plazmë që nxjerr pika …
